該試驗箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。那厭氧高溫試驗箱測試標準有哪些,下面來看廣州智品匯電子科技有限公司是如何說明的。
特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100。
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破盡,304不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵。
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)。
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*佳溫度控制精度。